Schedule of Lecture
<2008.01.23-25>
第２５回プラズマプロセシング研究会(SPP-25)
開催日： 2008年（平成20年）１月２３日(水) 〜 １月２５日(金)
会場： 山口県教育会館
〒753-0072 山口市大手町2番18号 TEL：083-922-5766
ゆ〜あいプラザ山口県社会福祉会館
〒753-8555 山口市大手町9番9号 TEL：083-924-1025
1 月25 日 プラズマによる薄膜形成 1 A 会場
11:20-11:40
A5-02 イオンプレーティング法によりガラス基板上に成膜した 透明導電性Ga 添加酸化亜鉛薄膜のa 軸
及びc 軸配向性
1 高知工科大総研 ○山田 高寛1, 有光 徹紘1, 森實 敏之1, 三宅 亜紀1, 牧野 久雄1, 山本 直樹1,
山本 哲也1
1 月24 日 ポスター 2 P 会場
P2-29 イオンプレーティング法により成膜した透明導電性 Ga 添加酸化亜鉛薄膜の電磁波遮蔽効果
1 高知工科大総研 ○森實 敏之1, 有光 徹紘1, 山田 高寛1, 三宅 亜紀1, 牧野 久雄1, 山本 直樹1,
山本 哲也1
P2-30 イオンプレーティング法により成膜した透明導電性Ga 添加酸化亜鉛薄膜の熱処理効果
1 高知工科大総研 ○有光 徹紘1, 森實 敏之1, 山田 高寛1, 三宅 亜紀1, 牧野 久雄1, 山本 直樹1,
山本 哲也1
<2008.01.23>
元素戦略／希少金属代替材料開発 第2回シンポジウム「我が国材料技術の新展開 〜レアメタル問題解決に向けて〜」
主 催：元素戦略／希少金属代替材料開発 合同戦略会議
共 催：内閣府、文部科学省、経済産業省
(独)科学技術振興機構
(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構
日 時：平成２０年１月２３日（水） １３：００〜１７：３０
場 所：東京大学 武田先端知ビル 5F 武田ホール
東京都文京区弥生2-11-16 （千代田線根津駅下車徒歩5分）
ポスターセッション
<2007.12.21>
平成19 年度 東北大学金属材料研究所ワークショップ
「酸化亜鉛半導体テクノロジーの進歩」
日時：2007年12 月21 日(金) 08:45 -12:45
場所： 東北大学多元物質科学研究所
科学計測研究棟S 棟2 階セミナー室・中会議室
(宮城県仙台市青葉区片平2-1-1)
10:15 ? 10:45 酸化亜鉛透明導電膜におけるミクロ構造とマクロ特性
山本哲也 （高知工科大学 総合研究所）
<2007.12.20>
先端技術基礎セミナ
主催：財団法人ファインセラミックスセミナー
場所：財団法人ファインセラミックスセンター ２F研修室
名古屋市熱田区六野二丁目4-1
連絡：052-889-1666
日時：2007.12.20 13:30 - 15:00
講演題目：「酸化亜鉛透明導電膜の物性制御」
〜ガラス基板上製膜から樹脂基板上製膜へ〜
山本哲也
<2007.12.07>
The 14th International Display Workshops
Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan
December 5(Wed) - 7(Fri), 2007
Friday, December 7
Main Hall B, FMC5: Materials
FMC5-4 11:20 -11:40
Invited: Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Films
Properties on Glass, PMMA and COP Substrates
Tetsuya Yamamoto, T. Yamada, A. Miyake, T. Morizane, T. Arimitsu,
H. Makino and N. Yamamoto
<2007.12.06>
The 14th International Display Workshops
Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan
December 5(Wed) - 7(Fri), 2007
Thursday, December 6
9:00 - 12:00 Main Hall C
Poster FMCp: FPD Manufacturing, Materials &
Components
FMCp - 27
Multiple Deposition of Ga-Doped ZnO Thin Films on
COP Substrates for the Fabrication of Transparent
Conductive Films
A. Miyake, T. Yamada, H. Makino, S. Kishimoto*,
N. Yamamoto, T. Yamamoto
Kochi Univ. of Tech., Japan
*Kochi Nat. College of Tech., Japan
<2007.11.30>
2007年11月30日
第26回エレクトロセラミックスセミナー
元素戦略とレアメタル代替材料開発最前線
日時：2007年11月30日（金） 15:10-16:05
場所：東大先端研
「ZnO プロジェクトと ZnO 透明導電膜」
山本哲也
<2007.10.23>
The 3rd National Conference on ZnO and Related Material & International Forums on ZnO
Hangzhou, Zhejiang province during Oct. 22nd -25th, 2007.
10.23
Invited: Zinc Oxide: an Attractive Potential substitute for ITO,
Applications & Future Prospects
Tetsuya YAMAMOTO
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月7日
7a-ZQ-16 原子層堆積法によるガラス基板上ZnO成長の基板温度依存性および亜鉛原料の検討
高知工大総研1，高知高専2 ○牧野久雄1，岸本誠一2，三宅亜紀1，山田高寛1，山本直樹1，山本哲也
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月5日
5a-ZS-4 ZnOの硬X線光電子分光:Zn- and O- 面における価電子帯スペクトルの相違
物質材料科学研究機構1，高輝度光科学研究センタ-2，高知工科大3，東北大国際学際科学研究センタ-4 ○小林啓介1，金 正鎮2，山本哲也3，上田茂典1，野本大介1，吉川英樹1，池永英司2，八百隆文4，竹田 治5，斎藤裕児5，島田賢也6，生天目博文6
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月5日
5a-ZS-10 反応性プラズマ蒸着法による低抵抗Ga添加ZnO薄膜の作製に関する基板温度の影響
高知工科大総研 ○山田高寛，三宅亜紀，牧野久雄，岸本誠一，山本直樹，山本哲也
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月5日
5a-ZS-11 反応性プラズマ蒸着法により作製した低抵抗Ga添加ZnO薄膜の機械定数
高知工科大総研1，高知工専2 ○山本直樹1，山田高寛1，三宅亜紀1，牧野久雄1，岸本誠一2，山本哲也
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月5日
5a-ZS-12 反応性プラズマ蒸着法によるシクロオレフィンポリマー (COP) フィルムへの Ga 添加 ZnO 薄膜の形成
○三宅亜紀，山田高寛，牧野久雄，山本直樹，山本哲也
<2007.09.03-08>
2007年09月04-08日
第68回応用物理学会学術講演会
場所：北海道工業大学
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
9月5日
5a-ZS-13 GaをドープしたZnO薄膜の透過電子顕微鏡解析
高知工科大物質・環境1，高知工科大総研2 新田紀子1，谷本隼人1，○谷脇雅文1，山本直樹2，牧野久雄2，山田高寛2，山本哲也2
<2007.08.02>
2007年8月2-3日
The 10th Asian Symposium on Information Display
2-3 August, 2007, Orchard Hotel, Singapore
Emerging Tech I session, 08.03
13:30-13:50 Invited
Zinc Oxide: an attractive Potential substitution for ITO,
Large Area Coatings and Control of Electrical and Optical Properties
on Glass and Polymer Substrates
Tetsuya Yamamoto
<2007.08.02>
2007年8月2-3日BR>
The 10th Asian Symposium on Information Display
2-3 August, 2007, Orchard Hotel, Singapore
Emerging Tech I session, 08.02
16:30-19:00 Poster session
Direct Growth of Ga-Doped ZnO Thin Films on Plastic Substrates
Aki Miyake, Takahiro Yamada, Hisao Makino, Naoki Yamamoto and Tetsuya Yamamoto
<2007.07.01-06>
2007年07月01-06日
International Conference on Materials for Advanced Technologies 2007
1-6 July 2007, Suntec Singapore International Convention & Exibition Center
Poster session
Influence of Film Thickness on Photoconductivity of Polycrystalline Ga-Doped ZnO Films Prepared by Plasma-Assisted Electron-Beam Deposition
Seiichi Kishimoto, Takahiro Yamada, Aki Miyake, Hisao Makino, and Tetsuya YamamotoP>
2007.06.26-29>
2007年6月26-29日BR>
第２４回フォトポリマーコンファレンス
千葉県千葉市稲毛区弥生町１ー３３
千葉大学けやき会館（ＪＲ西千葉駅下車徒歩６分)
B シンポジウム Ｂ２. 主題：プラズマ光化学と高分子表面機能化
Control of Electrical and Optical Properties of Transparent Conductive Ga-doped
ZnO Films Deposited on PMMA Substrates.
T. Yamamoto
2007.06.19-20>
2007年6月19日〜20日BR>
コクヨホール 東京・品川
ナノで展開する新機能材料とテクノロジー
6月19日 セッションB ZnO薄膜関連デバイス
16:00〜 “ＩＴＯ代替+α”を目指す酸化亜鉛機能性透明導電膜
〈高知工科大学 総合研究所マテリアルデザインセンター センター長・教授〉 山本 哲也
<2007.05.28-06.01>
E-MRS 2007 Spring Meeting
May 28 - June 1, 2007:
E-MRS Spring Meeting - Strasbourg, France
Symposium I
Advances in transparent electronics: from materials to devices - II
Transparent conductive oxides 1 :1a 19
17:00 Poster Session Thickness Dependence of In-Plane Orientation of Low Resistivity Ga-Doped ZnO
Films Prepared on Glass Substrate by Ion-Plating
Takahiro Yamada, Aki Miyake, Seiichi Kishimoto, Hisao Makino, Naoki Yamamoto and Tetsuya Yamamoto
Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology
<2007.05.28-06.01>
E-MRS 2007 Spring Meeting
May 28 - June 1, 2007:
E-MRS Spring Meeting - Strasbourg, France
Symposium I
Advances in transparent electronics: from materials to devices - II
Transparent conductive oxides 1 :25
12:30-12:50 Electrical and Optical Properties of Ga-Doped ZnO Films Prepared
on PMMA Substrates
T. Yamamoto 1, S. Soga 2, T. Kohno2, H. Imai2, M. Yamamoto 3, S. Shirai 3,
T. Yamada 1, A. Miyake 1, H. Makino 1 and S. Kishimoto 1
1 Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology,
2Analysis & Simulation Center, Asahi Kasei Corporation,
3R&D, Plastic Products, Asahi Chemicals Corporation
<2007.05.28-06.01>
E-MRS 2007 Spring Meeting
May 28 - June 1, 2007:
E-MRS Spring Meeting - Strasbourg, France
Symposium I
Advances in transparent electronics: from materials to devices - II
Zinc oxide : 15
10:20-40 Effects of surface pre-treatment on growth of ZnO on glass substrates
by atomic layer deposition
H. Makino, S. Kishimoto, T. Yamada, A. Miyake, N. Yamamoto, T. Yamamoto,
Research Institute, Kochi University of Technology
<2007.05.23>
自然順応型ネオマテリアル創成フォーラム 第2回研究会
開催日時 ： 5月23日(水) 13：30〜18：00 (交流会18:00〜19：30)
開催場所 ：京都中央工科専門学校3号館311教室
〒600-8236 京都市下京区油小路塩小路下る西油小路町２７ (TEL：075-371-4040)
http://www.yic-kyoto.ac.jp
主催 ： ネオクラスター推進共同体(事務局 財団法人関西情報・産業活性化センター KIIS)
京都ナノテククラスター本部（財団法人京都高度技術研究所 ASTEM）
共催 ： 立命館大学、日本科学アカデミー、京都中央工科専門学校
14:10-15:10 ITO代替ZnO開発について
高知工科大学 山本哲也
<2007.05.17>
富士通計算化学ユーザーフォーラム2007
日時：5月17日（木） 10:20 - 17:30
場所：富士通幕張システムラボラトリ ３F大会議室
交通：JR京葉線海浜幕張駅 徒歩10分
15:45-16:35 招待講演
「第１原理電子構造計算が推進役を果たす酸化亜鉛透明導電膜の研究開発」
山本哲也
<2007.04.23-27>
ICMCTF 2007
April 23-27, 2007
Town & Country Hotel, San Diego, California
BP-26 Thursday Afternoon Poster Session
Hard Coatings and Vapor Deposition Technology, Room: Town & Country - Session BP
Symposium B Poster Session, 5:00-7:00 pm (Reception 5:30 pm)
Effect of Glass Substrate Temperature on Electrical Properties of Ga-Doped ZnO Films Prepared by Ion-Plating using DC Arc-Discharge
T.Yamada, A.Miyake, S. Kishimoto, H. Makino, T. Yamamoto
<2007.04.23-27>
ICMCTF 2007
April 23-27, 2007
Town & Country Hotel, San Diego, California
Tuesday Afternoon, April 24, 2007
Optical Thin Films, Room: Tiki Pavilion - Session C3-1
Optical Thin Films for Active Devices and Microsystems
C3-2-3, 2:10-2:30
Microwave Shielding Properties of Ga-Doped ZnO Films Prepared by Reactive Plasma Deposition
S. KISHIMOTO, T. YAMADA, A. MIYAKE, H. MAKINO,
T. ARIMITSU, T. MORIZANE, T. YAMAMOTO
<2007.03.12-15>
ASIA DISPLAY `07
March 12-15, 2007(Monday-Thursday)
Shanghai International Convention Center, Shanghai, China
Electrical and Optical Characteristics of Ga-Doped ZnO Films Deposited on PMMA Substrates
S. Soga 1, T. Yamamoto 2, T. Kohno 1, H. Imai1, M. Yamamoto 3, H. Shirai 3, T. Yamada 2,
A. Miyake 2, H. Makino 2 and S. Kishimoto 2
1 ASAHI KASEI, 2 Kochi Univ. Tech., 3 ASAHI KASEI CHEMICALS
<2007.02.09>
日時：2007年2月9日（金）12:30-16:30
場所：東京大田区産業プラザ6階C会議室
情報機構セミナー：「＜ITO代替＋αを目指す＞酸化亜鉛機能性透明導電膜」
山本哲也（高知工科大学）
<2007.01.12>
プラズマ材料科学第153委員会第79回研究会
「光機能ワイドギャップ半導体の合成」
期日：2007年1月12日（金）13:00-16:50
会場：東京，弘済会館 ４Ｆ 楓の間
15:10-16:00
「DCアーク放電を用いた酸化亜鉛透明導電膜のその応用」
山本哲也
<2006.11.09>
第20回「月刊ディスプレイ」技術セミナー
ＦＰＤのキーテクノロジー
透明導電膜の最新技術と展望
〜導電膜の課題とその解決法を探る〜
■期日：2006年11月9日（木）
■会場：御茶ノ水・神田明神会館（TEL03−3254−0753）
■主催：潟eクノタイムズ社
11:20-12:20
「酸化亜鉛による透明導電膜の開発」
山本哲也
<2006.10.19>
FPD International 2006
会期：10月18日（水）〜20日（金）
場所：パシフィコ横浜 会議センター
2006.10.19 B-4
「FPD向けITO代替透明導電膜新材料，Ga添加ZnO」
山本哲也
<2006.10.03-06>
CEATEC JAPAN
会場：幕張メッセ
山本哲也、岸本誠一、牧野久雄
山田高寛、三宅亜紀
<2006.10.04>
知的・産業クラスター セミナー in 四国
会場：：サンメッセ香川 ２Ｆ サンメッセホール
日時：平成１８年１０月４日（水）
14:20-14:40
「２１世紀酸化亜鉛ビジネスとクラスタ」
山本哲也
<2006.09.13>
イノベーション JAPAN 2006
http://expo.nikkeibp.co.jp/innovation/
期日：2006.09.13-15
場所：東京国際フォーラム（有楽町）
新技術説明会 ナノテク・材料
PN-28 13日/15:30〜16:00
酸化亜鉛をベースとした光センサー・導電紙・透明導電膜
山本 哲也
<2006.09.04>
Europe MRS Fall Meeting 2006
September 4-8, Warsaw University of Technology, Poland
Symposium F
Wide Band Gap II-VI Semiconductors: Growth, Characterization and Applications
September 4th Monday
16:50 - 17:10 Oral
"Photoconductivity of Ga doped ZnO Film grown by Reactive Plasma Deposition Method ",
Seiichi Kishimoto, Takahiro Yamada, Aki Miyake, Hisao Makino,
Tetsuya Yamamoto
<2006.08.30>
第67回応用物理学会学術講演会
30p-ZE-16
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
「反応性プラズマ蒸着法による多結晶Ga添加ZnO膜の光伝導度スペクトル」
林邦彦、岸本誠一、浜口博史、三宅亜紀、山田高寛、牧野久雄、山本哲也
<2006.08.31>
第67回応用物理学会学術講演会
31p-ZE-15
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
「反応性プラズマ蒸着法によるプラスチック基板上 Ga 添加酸化亜鉛透明導
電膜の特性」
旭化成1、旭化成ケミカルズ2、高知工大総研3
○山本実2、曽我祐貴1、山田高寛3、三宅亜紀3、牧野久雄3、
白井博史2、今井秀秋1、河野禎市郎1、山本哲也3
<2006.08.31>
第67回応用物理学会学術講演会
31p-ZE-16
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
「反応性プラズマ蒸着法によるGa添加ZnO薄膜のプラスチック基板の成膜」
旭化成1，旭化成ケミカルズ2,高知工大総研3
○曽我祐貴1、山本実2、山田高寛3、白井博史2、今井秀秋1、河野禎市郎1、山本哲也3
<2006.08.31>
第67回応用物理学会学術講演会
合同セッションK「酸化亜鉛系機能性材料」
31p-ZE-17
「反応性プラズマ蒸着法による多結晶Ga添加ZnO膜への熱処理効果」
岸本誠一、林邦彦、浜口博史、三宅亜紀、山田高寛、牧野久雄、山本哲也
<2006.08.22>
酸化亜鉛研究会
機械振興会館
山本哲也
<2006.07.03)>
2006 Asia-Pacific Workshop on Fundamental and
Application of Advanced Semiconductor Devices, July 3-5, 2006 Tohoku University, Sendai, Japan
Session 3 Emerging Devices and Technologies I
Invited
Zinc Oxide: an Attractive Potential Substitute for GaN, Applications & Future Prospects
T.Yamamoto
<2006.06.20>
The 6th International Conference on Coating on Glass and Plastics (ICCG),
June 18-22, 2006, Dresden, Germany
Poster Session 6-26
Dependences of structural, optical and electrical properties on thickness of Ga-doped ZnO thin films prepared by reactive plasma deposition
Y. Takahiro, Aki Miyake, Hisao Makino, Seiichi Kishimoto and T. Yamamoto
Kochi university of technology
<2006.06.19>
The 6th International Conference on Coating on Glass and Plastics (ICCG),
June 18-22, 2006, Dresden, Germany
Session 2 Emerging Sources for Plasma and Ion Beam Treatment
Chairmen: Dr. Liehr, Dr. Kaiser
4:30 p.m. - 5:00 p.m.
Keynote
Large-scale manufacturing of Ga-doped ZnO prepared by reactive plasma deposition
T. Yamammoto
Kochi University of Technology [Japan]
<2006.05.29>
The E-MRS 2006 Spring Meeting (E-MRS - IUMRS - ICEM 06) ,
Nice (France), from May 29 to June 2, 2006
SYMPOSIUM K
ZnO and related Materials,
K P-I 21 16:30 Poster
"Atomic Layer Deposition and Characterization of Ga-doped ZnO Thin Films",
K. Saito[1], Y. Hiratsuka[1], A. Omata[1], H. Makino[2], S. Kishimoto[2], T. Yamamoto[2],
N. Horiuchi[3], H. Hirayama[3] and M. Osada[4]
[1] Teikyo Univ. Sci. Tech., 2525 Uenohara, Yamanashi 409-0193, Japan,
[2] Kochi Univ. Tech., 185 Tosayamada-cho, Kochi 782-8502, Japan,
[3] Photodynamics Research Center, RIKEN, 519-1399 Aoba, Aramaki, Sendai 980-0845, Japan,
[4] National Institute for Material Science, 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan
<2006.05.29>
The E-MRS 2006 Spring Meeting (E-MRS - IUMRS - ICEM 06) ,
Nice (France), from May 29 to June 2, 2006
SYMPOSIUM K
ZnO and related Materials,
K P-I 08 16:30 Poster
"Dependences of structural and electrical properties on thickness of polycrystalline
Ga-doped ZnO thin film prepared by reactive plasma deposition",
Yamada Takahiro, Takahiro Yamada, Takuya Nebiki, Seiichi Kishimoto, Hisao Makino,
Kiyoshi Awai, Tadashi Narusawa, Tetsuya Yamamoto
<2006.05.29>
The E-MRS 2006 Spring Meeting (E-MRS - IUMRS - ICEM 06) ,
Nice (France), from May 29 to June 2, 2006
SYMPOSIUM K
ZnO and related Materials, K II 12:20-12:40
"Effects of Ga doping on electrical and optical properties of ZnO polycrystalline
films prepared by reactive plasma deposition",
Sho Shirakata 1 Toshiyuki Sakemi 2 , Kiyoshi Awai 3, and Tetsuya Yamamoto 3
1 Faculty of Engineering, Ehime University, Matsuyama, Ehime, japan
2 Research and development center, Sumitomo Heavy Indutries, Ltd, Niihama, Ehime, Japan
3 Materials Design Center, Kochi University of Technology, Tosayamada, Kochi, Japan
<2006.05.03>
33th International Conference on
Metallurgical Coatings and Thin Films,
May 1-5, 2006, Town and Country Hotel, San Diego, California, USA.
Hard Coatings and Vapor Deposition Technology
Session B2-2 Arc and E-Beam Coatings and Technologies
B2-2-3 9:10-9:30
"Effects of Oxygen Partial Pressure on Film Growth and Electrical Properties
of Undoped ZnO Films with Thickness below 100 nm",
S. Kishimoto, T. Yamada , K. Ikeda, H. Makino, and T. Yamamoto
<2006.05.03>
33th International Conference on
Metallurgical Coatings and Thin Films,
May 1-5, 2006, Town and Country Hotel, San Diego, California, USA.
Hard Coatings and Vapor Deposition Technology
Session B2-2 Arc and E-Beam Coatings and Technologies
B2-2-4 9:30-9:50
"Effects of Oxygen Partial Pressure on Doping Properties of Ga-Doped ZnO Films
Prepared by Reactive Plasma Deposition with Traveling Substrate",
T. Yamada, K. Ikeda, S. Kishimoto, H. Makino, and T. Yamamoto
<2006.04.25>
49th Annual SVC Technical Conference
April 22?27, 2006
Marriott Wardman Park Hotel
Washington DC
Heureka! Post-Deadline session
6:20 p.m. H-6 Zinc Oxide: an Attractive Potential Substitute for ITO, Large
Area Coating and Control of Electrical and Optical Properties
T. Yamamoto, T. Yamada, S. Kishimoto, H. Makino, and A. Miyake, Kochi
University of Technology, Kochi, Japan
<2006.03.27,28>
日本化学会第８６春季年会「アドバンスト・テクノロジー・プログラム」
日時：2006.03.27-28
場所：日本大学理工学部船橋キャンパス、千葉県船橋市習志野台
「酸化亜鉛：ＩＴＯ透明導電膜代替とその応用」
山本哲也
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月24日（金）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「イントロダクトリー・トーク 21世紀材料酸化亜鉛の特徴と導電性制御」
山本哲也、牧野久雄、山田高寛、岸本誠一、粟井清
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月2＊日（＊）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「ラマン分光法によるGa 置換ZnO 薄膜の局所構造評」
Local structural properties of Ga-doped ZnO thin films characterized by Raman spectroscopy
物材機構1，住友重機2，高知工大創研3
○長田 実1, 酒見俊之2, 粟井 清3, 山田高寛3, 岸本誠一3, 牧野久雄3, 山本哲也3
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月2＊日（＊）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「反応性プラズマ蒸着法による多結晶ＧａドープＺｎＯ薄膜の光学的・電気的特性(U)」
Optical and electrical properties of ZnO:Ga films prepared by reactive plasma deposition (RPD) method (II).
愛媛大工1，住友重機2，高知工大総研3
○白方祥1，宮田晃1，酒見俊之2，粟井清3，山本哲也3
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月2＊日（＊）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「Ga 添加された多結晶 ZnO 薄膜の耐熱、耐熱湿特性
Durability in hot and humid conditions of Ga-doped ZnO thin films prepared by reactive plasma deposition
高知工大総研1，高知工大工2
○中野聡1、山田高寛1、根引拓也1、岸本誠一1、牧野久雄1、池田圭吾1、粟井清1、
成沢忠2、山本哲也1
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月2＊日（＊）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「RBS 法によるRPD 成長 Ga 添加ZnO 多結晶薄膜の密度測定
Density measurement of poly-crystalline Ga-doped ZnO thin films prepared by RPD using by Rutherford Back Scattering
高知工大総研1，高知工大2
○根引拓也1，山田高寛1，岸本誠一1，牧野久雄1，粟井清1，山本哲也1，成沢忠2
<2006.03.22-26>
2006年 (平成18年) 春季 第53回応用物理学関係連合講演会
日時：2006年3月2＊日（＊）
場所：武蔵工業大学（東京都世田谷区）
「反応性プラズマ蒸着法によるGa添加ZnO多結晶薄膜構造の膜厚依存性 (2)
Dependence of structure of poly-crystalline Ga-doped ZnO thin films prepared by reactive plasma deposition (2)
高知工科大総研1，高知工科大2 ○山田高寛1，根引拓也1，岸本誠一1，牧野久雄1，粟井清1，成沢忠2，山本哲也1